微纳3d金属拼图3D打印技术应用:AFM探针

核心提示:本章首先从原理上讲解了微结构UV3D打印整体流程其次在流程设计的过程中需要注意的问题:包括整体的涂布方法设计和脱离方法测试,涂胶和脱胶方法的 测试昰组装实际样机之前需要考虑的问题

     本章首先从原理上讲解了微结构UV3D打印整体流程,其次在流程设计的过程中需要注意的问题:包括整體的涂布方法设计和脱离方法测试涂胶和脱胶方法的 测试是组装实际样机之前需要考虑的问题。流程的设计首先需要考虑可行性分析 模拟设计等问题,并且对仪器的材料等部分进行测试通过实验测试了不同材料对光敏树脂的粘附性问题。在最初的样机制备过程中选取匼适的材料完成整个工艺 流程设计。

第三章  工艺流程的设计与测试

图3-1:机械设计和整体打印流程图示

      本文发展了“涂胶-曝光-分离”的3D打茚工艺主要流程分为三步。

第一步:涂布利用喷胶头喷出一层光敏树脂,传动卷膜利用刮刀刮出一层 均匀的厚度在50um以下的树脂涂层。然后传动卷膜在曝光区域上下精确移动,挤压树脂涂层得到5?15um厚的单层树脂。

第二步:贴合曝光涂布完成后,利用光刻系统讲三維实体的二维切片输入电 脑光刻镜头对准卷膜上表面。进行单层曝光

第三步:分离。将单层曝光完成的树脂与卷膜分离单层结构固萣在衬底上, 衬底上抬留出空间继续转动卷膜。涂布第二层树脂

微结构3D打印机械的建模。根据建模委托模具厂家加工,得到各部位零件再进行组装加工,组装出微结构3D打印样机

图3-2:组装完成的UV3D打印机

     图3-2为组装完成的微结构3D打印机,在组装过程中特别要注意卷膜,衬底和石英板三者的水平性如果衬底和石英板不在一个水平面上,当利用他们进行 挤压树脂的操作时就会造成层厚的不均匀如果卷膜是倾斜的,在挤压时会形成很 大的褶皱曝光表面起伏不平整,无法正常完成对焦工作

3.2打印涂布方法和脱胶方法测试 

     光敏树脂是3D打印嘚本体,是打印结构本体部分主要由三个部分组成。包括光敏预聚体、活性稀释剂、光引发剂和光敏剂光敏预聚体主要有丙烯酸酯化環 氧树脂、不饱和聚酯、聚氨酯和多硫醇/多烯光固化树脂体系几类。活性稀释剂也可 参与光固化反应成为固化结构的一部分。光敏树脂楿比于普通树脂粘度较低固化收缩小,具有很高的光敏感性和固化程度

树脂涂布过程中由于Z轴精度完全取决于涂布层厚,因此确定好嘚涂布方式 是提高打印精度的重要一环目标层厚为10um以下。

图3-3:徒步流程以及成型方式

     如图3-3,在设计流程中涂胶过程分为两步,第一步在膜上用喷头喷出光敏 树脂液滚动卷膜,在刮刀的作用下膜被刮成不超过50um的均匀涂层。第二步卷膜经过曝光区域,在衬底和石英板的擠压下得到一个厚度可以精确控制(±2um) 的光敏树脂夹层。曝光机构从下方进行曝光

     树脂涂布厚度由衬底板和石英支撑板之间的距离决萣。涂布过程中石英支撑板 保持固定上下移动衬底板,控制两版之间的距离得到需要的树脂层厚。衬底板的位置由安装在衬底板上的咣栅尺确定涂层前会先涂一层基底层用于增强第一层 结构和衬底的黏性。由于光敏树脂具有弹性在多层曝光过程中进行下一层树脂涂 咘时厚度会发生偏差。随着单层厚度的增厚偏差越来越大设计实验测量在已涂基底的情况下,不同涂布层厚对第二层涂胶厚度的影响擬合为一条函数曲线。

图3-4:涂布误差和图层厚度的关系

     如图3-4,黑色实线为理想状态涂层厚度红点为实验数据,虚线为实际涂层厚度数据拟匼后的曲线当涂层厚度在小于5um时,由于距离过短树脂弹性过大,实际涂层厚度大于理论厚度树脂的弹性造成额外弹力的挤压树脂,樹脂厚度小于 理论厚度当厚度远远大于5um时误差范围越来越小,以至于忽略不计但是过厚的厚度降低了打印的精度。可以看到当厚度大約大于10um时涂层厚度和理论值的误差在一个可以接受的范围内。

图3-5:分离步骤示意图

     如图3-5,当单层结构曝光完成时首先下沉石英板,使膜囿足够的空间剥离 然后下压膜的右侧,使膜逐步与已打印完成的树脂分离完成之后再进行第二层的打印操作。

    期间需要注意的问题有兩个:分离方式和接触材料的选择在分离方式上,选 择采用侧边剥离的方式比直接撕扯更有利于保护打印材料的结构和完整性;在接触材料的选择上第一是衬底材料,主要从普通玻璃和石英玻璃之间选择衬底对材 料的透光率没有要求只对材料的粘附性有要求。第二是卷膜材料由于玻璃是极性 材料,采用非极性的PET薄膜可以起到不与树脂粘连但是卷膜的厚度不能太厚以 至于影响对焦,因此采用17um厚的PET卷膜来达到运送树脂的目的

     为测试衬底材料的黏性,在石英玻璃上旋涂一层光敏树脂再将普通玻璃盖在 石英玻璃之上过量曝光,得到整塊光敏树脂固化层曝光完成后,分开石英玻璃和普通玻璃观察光敏树脂的粘附方向和打印结构的完整性。

图3-6:石英与普通玻璃黏性分析

     图3-6所示为分离后石英玻璃上的过量曝光树脂残留。可以发现大部分树脂 结构都附着在了石英玻璃上小部分结构被普通玻璃带走。通過实验证明石英玻璃相比于普通玻璃对光敏树脂具有更大的粘附性。因此当衬底采用石英玻璃材料时,相比于普通玻璃更有粘附性哽容易把树脂固定在衬底上。

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原标题:厦门大学陈忠教授团队:用于磁共振的3D打印一体化探针

resonance”的研究论文该研究利用高精度3D打印和液态3d金属拼图灌注技术制备出包含有射频线圈和定制化样品管道結构在内的一体化磁共振射频探头前端,克服了传统磁共振三维微型线圈成型困难、与样品腔匹配程度差等问题提高了探头的信噪比,為定制化的磁共振检测提供了新思路

图1. 3D打印制造的精确加工一体化磁共振探头前端

射频探头前端作为核磁共振设备的核心部件之一,极夶程度的决定着系统实验性能的优劣探头前端通常由射频线圈、射频电路及样品检测管道等部分组成。现有的射频线圈制作技术主要是通过手工或机械手段按照所需的线圈形状进行绕制但是,当线圈结构较为复杂、不规则或体积尺寸较小时,常规绕制方法便难以满足結构设计和制造的精度需求因此造成线圈性能的劣化,增大检测区域的射频场不均匀性对核磁共振检测产生负面影响。同时针对不哃样品的定制化检测区结构与射频线圈之间的匹配也存在一定困难。针对上述问题陈忠教授研究团队设计搭建了一种结合高精度3D打印和液态3d金属拼图灌注技术的一体化新型磁共振探头前端,有效地提高了微型线圈的加工精度拓展了定制化磁共振检测的应用领域,具有很恏的产业化应用价值(发明专利公开号

图2. 3D打印一体化连续流分离检测磁共振探头

本研究中利用3D打印熔融沉积制造或光敏树脂选择性固化技术精确加工出一体化磁共振探头前端,使用常温液态3d金属拼图填充线圈模型管路形成射频线圈搭建出稳定的一体化磁共振射频探头。咑印材料和液态3d金属拼图种类均经过系统性的优选和优化提升了常规材料的电磁特性,保证了探头的基本性能课题组又进一步开发了3D咑印的定制化原位电化学-核磁共振联用探头通过相互分离的电极腔设计,更简便的实现了电化学反应的实时原位监测;3D打印的连续流体分離探头则利用内部包含的颗粒吸附腔和离子分离管道对化学反应的顺磁性产物进行了有效的连续流过滤分流,克服了磁性产物对磁共振實验的破坏性影响实现了复杂反应的原位产物监控。此外该技术还被用于设计加工适用于小体积样品的定制化磁共振成像探头。成像線圈根据待测样品结构尺寸与样品腔进行一体化设计,二者紧密贴合提高了线圈的填充因子,可得到更高信噪比的成像结果因此,3D咑印与液态3d金属拼图灌注技术相结合能够实现复杂结构三维线圈的微米级精度设计和加工,快速构建包含有定制化样品管道的多尺寸一體化核磁共振探头前端整体设计灵活,可更加有效的满足核磁实验需求

该工作由厦门大学电子科学与技术学院陈忠教授、游学秋副研究员和孙惠军高级工程师共同指导完成,博士研究生谢君尧为论文第一作者厦门大学电子科学与技术学院黄玉清高级工程师、王忻昌副敎授、倪祖荣助理教授、硕士研究生张德超,化学化工学院杨朝勇教授、博士研究生李星锐萨本栋微米纳米科学技术研究院陈宏教授为匼作作者。研究工作得到国家自然科学基金、中国博士后科学基金等项目支持

原标题:学术干货 | 3D打印微纳功能器件典型案例共赏

3D打印(增材制造)这种层-层(Layer-by-layer)材料沉积的制造工艺在过去几年蓬勃发展。相对传统的切削加工和模具制造3D打印可鉯更好地创建复杂形状零件。目前新一代的3D打印技术主要集中在多功能打印方面即朝着能够产生完整的集成功能器件的方向发展。与此哃时纳米技术和3D打印的结合也为材料设计提供了一种新的思路,其在优化材料性能和提高材料多功能性方面具有巨大潜力通过3D打印技術来制备三维微纳结构的功能器件,各个课题组都做了很多讨论当然,关于这方面的文献也算是汗牛充栋这里就列举几个典型的成果。

Maling GouShaochen Chen等人设计了一种仿生3D解毒器件[1],他们通过3D打印技术制备具有3D结构的水凝胶并将具有解毒功能的聚丁二炔(PDA)纳米粒子打印在水凝胶矩阵中,从而制得仿生3D解毒器件纳米粒子可以感测、吸引毒素,而具有类似肝小叶微结构的3D水凝胶基质可以有效地捕获毒素如图1a所示。

图1.(a)PDA纳米颗粒(绿色)组装在PEGDA水凝胶基质(灰色)上;(b)动态立体光刻技术(DOPsL)技术示意图;(c)3D装置的激光共聚焦显微镜图像;(d)3D裝置的SEM图像比例尺50μm。

acid)纳米颗粒自组装为具有孔结构的蓝色和无色的PDA纳米颗粒由于PDA和毒素之间的相互作用,PDA可以起到吸引捕获和Φ和毒素的作用。之后通过动态立体光刻技术(DOPsL)技术制备仿生3D解毒器件图1b为该过程示意图,使用建模软件设计不同的图案然后转移箌精确控制的数字反射镜以产生虚拟微掩模(virtual micromasks)。所产生的图像投射到光固化性树脂在光投影面积内凝固,图案化的层仅一次曝光便可淛造该技术的分辨率高,成型快对于该实验则是将含有1%苯基-2,4,6-三甲基苯甲酰基次膦酸锂(lithium phenyl-2,4,6-trimethylbenzoylphosphinate)的PEGDA(20 wt%)在 H2O 中与PDA颗粒悬浮液(5?mg?ml-1)等体积混合。然后将混合物通过DOPsL技术光聚合成型

值得一提的是,肝脏具有以末端肝静脉为中心的六边形小叶结构这有助于从系统中有效地去除废物和异生物。他们据此设计了肝脏模拟结构图1c和1d分别示出了所制造的3D装置的激光共聚焦显微镜图像和SEM图像。他们的研究结果表明蝳素溶液经过这种仿生解毒装置处理后,完全失去毒性这项工作为解毒平台的发展提供了一种新的思路。

生物活性纳米复合材料支架

Zhang等囚报道了一种生物活性纳米复合材料支架[2]其可用于组织工程。他们通过FDM打印机将聚苯乙烯印刷为具有所需孔隙率(40%)的支架图2a展示絀了FDM的制造方式,该方法是热辅助制造方法其中印刷材料(通常为长丝的热塑性聚合物)在喷头内被加热至所需温度(接近其熔点),嘫后从喷嘴中挤出以逐层沉积的方式来构建三维结构。在沉积之后不久印刷材料冷却并固化,这种技术能够制造复杂的三维结构

图2. (a)FDM方法示意图;(b)(c)的圆柱形聚苯乙烯支架材料的光学显微镜图像侧视和俯视图;

(d)软骨支架的代表性SEM图像。

图2b和2c为制造的聚合粅支架光学图像的侧视图和俯视图使用内径为325μm的挤出喷嘴来制造直径为约~270μm的长丝3D支架,然后使用未固化的纳米复合材料包封制造的支架纳米复合材料包含有纳米羟基磷灰石(nHA),其晶粒长约50-100nm宽度约20-30nm。在8分钟的UV暴露下对包封的纳米复合材料进行光固化使用33vol%的d-柠檬烯(d-limonene)溶液将聚苯乙烯支架溶解并去除,得到3D交叉多孔网络结构图2d显示了多孔支架的SEM图像,所得孔的直径等于溶解的聚苯乙烯长丝的矗径FDM方法可以通过简单地改变喷嘴直径和挤出倍增器(extrusion multiplier)来灵活地制造具有期望孔隙率的3D多孔纳米复合材料微结构。仿生3D结构内的羟基磷灰石纳米颗粒的存在不仅有效地改善生物活性(即增加细胞粘附)而且还使所制造的支架的抗压强度的显着增强。例如与使用纯聚匼物制造的结构相比,添加60wt%的羟基磷灰石纳米颗粒导致纳米复合材料的压缩模量和抗压强度分别增加了61%和87%

哈佛大学Jennifer A. Lewis教授课题组报噵了一种3D打印的蜂窝复合材料[3],其是由纳米粘土片掺入填充环氧树脂构成的印刷过一种程如图3a,b所示他们采用了直接写入(DW, Direct-Write)技术首先制备具有流变行为的墨水,通过喷嘴挤出后以逐层堆积的方式构建结构。剪切变稀行为使得材料能够通过细小喷嘴挤出并且使材料具有足够高的弹性模量和屈服强度以保持其形状。

图3.(a)3D打印多孔复合材料的光学图像;(b)填料取向沉积的示意图;

(c)填料取向嘚三角形蜂窝结构的光学图像比例尺为500μm。

该实验将约5wt%的纳米粘土加入环氧树脂中构成粘弹性流体同时油墨中也填充有磨碎的碳纤維(直径和平均长度分别为0.65μm和12μm)和碳化硅晶须(直径和平均长度分别为10μm和220μm),其可用于进一步改善印刷部件的机械性能使用直徑为200μm~610μm的喷嘴制造具有约200μm的壁厚和2mm高度(等于20层)的复杂几何结构。纳米复合材料沿着印刷方向排列这些高纵横比的纤维显着影响複合材料的机械性能。图3c展示出了印刷结构的光学图像从中可看出填料的整齐排列。喷嘴内的剪切和拉伸流场被认为是填料取向的原因这种印刷诱导的取向可以提高机械性能。印刷的复合材料表现出高达约 24.5 GPa的杨氏模量其接近木材,是最好的商业印刷聚合物复合材料的兩倍并且比印刷的热塑性复合材料杨氏模量高一个数量级。

来自蒙特利尔综合理工学院的Daniel Therriault等人通过溶剂浇铸直写技术(SC-DW)制造了微流体通道和螺旋天线[4]将聚合物溶液墨水细丝通过微喷嘴挤出,之后快速蒸发溶剂制得微结构。在溶剂蒸发过程中由于局部较高的聚合物濃度,长丝的直径减小并且刚度随时间逐渐增加这种刚性梯度使得能够通过改变挤出喷嘴的移动路径来产生自支撑弯曲形状,在新挤出材料的低刚度区域中可发生细丝弯曲在大部分溶剂蒸发之后,挤出长丝由流体状态凝固这有助于沉积的特征的形状保持。

他们采用热塑性材料作为牺牲材料来制造复杂的微流体装置图4a显示了流体填充的微通道的荧光显微镜俯视图和侧视图。该微流体通道通过首先通过SC-DW技术打印PLA螺旋结构之后将其包装在环氧树脂中,并完全固化将样品在真空烘箱中加热,以解聚PLA并制备平滑的微流体通道

图4. (a)流体填充微通道的荧光显微镜俯视图和侧视图; (b) 3d金属拼图涂覆PLA芯天线的光学显微镜图像

另外,他们还通过SC-DW技术构建了微螺旋天线通过沉积具有可变螺距的PLA螺旋,随后溅射~50μm铜层涂层来制造微小螺旋天线(20-30GHz)图4b示出了3d金属拼图涂覆PLA芯天线的光学显微镜图像。

他们开发的SC-DW技术为微流体等微系统的制备提供了一种低成本高灵活性的路线。该技术的研究方向在于开发其它油墨(例如生物基和合成热塑性塑料,导电和机械自适应纳米复合材料)或者向着亚微米和纳米尺度延伸。

全组件3D打印锂离子电池

其打印过程如图5所示油墨从喷嘴在由一个气动流体汾配器控制的喷嘴中以中等速度喷出。由于墨水的粘弹性性质来自喷嘴的长丝可以连续和均匀地打印出来,并叠层逐层来构建设计结构首先将阴极和阳极结构印刷在玻璃基,并通过冷冻干燥和热退火处理去除电极中的溶剂和水并使GO还原;之后将液体电解质(1 M LiPF6 混合在碳酸乙烯酯和碳酸二乙酯中)注射到电极之间然后用聚二甲基硅氧烷膜来封装的。

图5. 三维印刷交叉电极的示意图(a)用LTO / GO油墨打印负极(黑銫),SEM图显示电极是多孔的并且是由氧化石墨烯片组成;(b)用的LFP / GO墨打印的正极结构。印刷阴极和阳极电极构成交叉结构;(c)复合油墨在退火电极之间喷射;(d)电极表面的层-层结构插图为Fe元素映射,用以显示LFP分布;(e)该电极表面SEM放大图

在图5所示的SEM图中可以看到,LFP / RGO复合材料的表面视图显示了电极是由一层层的打印丝构造而成(图5d)插图是铁(Fe)元素映射,它显示了LFP纳米颗粒在RGO基质中均匀分布較高放大倍数的图像(图5e)显示了外表面的SEM图,其表面较为平滑于此同时,对于电池电性能的研究表明完整的电池可以提供 117 和 91 mAh g-1的初始充放电容量并表现出良好的循环稳定性。

美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室的Marcus A. Worsley, Yat Li等人通过3D打印技术制备了三维石墨烯周期性复合气凝胶微晶格( aerogel microlattices)超级电容器[6]制备这些新型气凝胶的关键是制备可挤出的石墨烯氧化物基复合油墨以及设计3D打印的工艺使其适应气凝胶的加工工艺。

该课题组利用基于挤压的三维印刷技术直接油墨书写( direct-ink writing,DIW)以制造高度可压缩石墨气凝胶微格子。DIW技术采用一个三轴运动机构在室温下,通过挤压的连续“墨水”长丝组装三维结构3D-GCAS的制造工艺方案如图6所示。该复合油墨将GO悬浮液(40 mg·cm-3)GNP和二氧化硅填料以及催化劑(R-F溶液与碳酸钠)混合,形成均匀的高粘性油墨然后,将复合油墨装入注射器管并通过微喷嘴挤出3D结构。最后该打印结果可以通過凝胶化,超临界干燥和碳化方法加工成气凝胶接着用氢氟酸二氧化硅蚀刻。

图6. 制造过程的示意图SiO2粉末、GNP和RF溶液加入到的GO悬浮液,制備GO油墨GO油墨通过一个微喷嘴在异辛烷浴中挤出,以防止在印刷期间的结构的收缩印刷晶格在85℃下凝胶化过夜,然后用超临界二氧化碳幹燥随后,该结构被加热到在氮气氛中1050℃保持3小时最后,该二氧化硅填料使用稀释的氢氟酸水溶液(5重量%)蚀刻掉比例尺为10mm。

3D打茚石墨烯复合气凝胶(3D-GCAS)电极重量轻导电性高,且表现出优异的电化学性能特别是,使用这些3D-GCA电极制备毫米级厚度的超级电容器表现絀优异的稳定性(ca. 90% 从 0.5到 10 A·g-1)和功率密度(>4 kW·kg-1)

以上就3D打印制备多功能微纳器件简单的做了几个举例。3D打印多功能复杂结构在制造行业确實具有重要作用例如用于MEMS,可拉伸/柔性微电子学传感器件,微天线和组织工程的部件为了实现3D打印多功能纳米复合材料的全部潜力,仍然需要在材料和技术两个方面同时进步首先是材料的设计,实现微纳米器件功能性主要方法就在于如何去改性3D打印 “墨汁”例如甴于3D打印是一种层层堆积的制造技术,层与层之间的粘结紧密与否极大地影响了电极的机械性能因此对于材料的研究十分重要。另外的┅个研究方向就是对于3D打印工艺的研究即通过控制成形参数控制微观结构,以及如何设计硬件及软件实现更高分辨率的打印。

本文由材料人编辑部学术组mengya供稿江苏省激光产业技术创新战略联盟激光天地搜集整理!@

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