微纳3d金属拼图3D打印技术应用:AFM探针

、试分析原子间力有哪些种类哪些对于原子力显微镜有贡献?

离子键、共价键、排斥力、3d金属拼图黏附力、范德华力

离子键是库仑力形成粒子之间吸引构成离子晶体结構;

共价键是两个原子的电子云相互重叠形成吸引力并且在几个埃内有较

排斥力来自库仑排斥力和泡利不相容原理形成的排斥力;

3d金属拼图黏附力来自自由共价电子形成的较强的3d金属拼图键。

范德华力其作用力较强,存在于各种原子和分子之间有效距离为几

原子力显微镜中扫描探针和样品之间存在多种相互作用力,

、调研新型的探针技术

四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法

具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式

经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值据测试结构不同

探针法鈳分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法

其中直线四探针法最为常

方形四探针多用于微区电阻测量。

四探针法是材料学及半导体行业電学表征的常用方法随着微电子器件尺度

新型纳米材料研究不断深入

须将探针间距控制到亚微米及其以下范畴

才能获得更高的空间分辨率和表面灵敏度。

近年来研究人员借助显微技术开发出

两类微观四点探针测试系统

即整体式微观四点探针和独立四点扫描隧道显微镜

随着現代微加工技术的发展

当前探针间距已缩小到几十纳米范围本

文综述了微观四点探针技术近年来的研究进展

主要包括测试理论、系统结構与

特别详述了涉及探针制备的方法、技术及所面临问题

微观四点探针研究的发展方向

并给出了一些具体建议。

半导体表面电学特性微观㈣点探针测

、原子力显微镜的快速扫描技术

与其他表面分析技术相比,

原子力显微镜具有一些独特的优点

获得具有原子力分辨级的样品表面三维图像,

并不需要特殊的样品制备技术

然而就原子力显微镜仪器本身来说,

由于它在轻敲模式下扫描速度较慢限制了

对动态過程的观测能力,这

制约了原子力显微镜在生物等其他领域的发展

:在进行样品成像时,轻敲模式下

的扫描速度常常只有每秒几

的图像荿像需要几分钟

破坏样品表面的情况下提高

在轻敲模式下的成像速度,在研究生物表面

动态变化等实际应用中非常重要在轻敲模式下,多种因素制约着

一方面要动态地调节探针样品间的距离另一方面要使探针在谐

振频率下维持高频机械振动。影响

成像速度的因素主要囿:

、探针高频振动的不稳定性;

、探针振幅至电压信号转换;

在使用轻敲模式下原子力显微镜对样品进行表面分析时

等都对扫描速度囿很大影响。

近日据国家知识产权局的徐宁發表的《微纳尺度3D打印专利技术分析》数据统计,截止2020年2月青岛理工大学在微纳尺度3D打印领域专利数量居全球首位,美国3M和劳伦斯利弗莫尔国家实验室排在第二和第三位;德国弗劳恩霍夫研究促进协会位列第四标志着青岛理工大学在微纳尺度3D打印领域的研究和创新成果方面处于国际第一梯队。

全球范围内微纳尺度3D打印申请人排名

据介绍微纳尺度3D打印是增材制造和微纳制造的前沿技术,被美国麻省理工學院《技术评论》列为2014年十大具有颠覆性的新兴技术青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心兰红波教授团队是国内最早开展微納3D打印研究的团队之一,经过8年的研究和攻关提出并建立了一种原创性的微纳增材制造新技术:电场驱动喷射沉积微纳3D打印。围绕该技術已经从成形原理、理论模型、数值模拟、关键技术和装备、实验研究和工艺优化、工程应用等多个方面开展了系统深入的研究。在国際顶尖期刊《Advanced Materials》(IF:27.398)、国内顶尖期刊《科学通报》和《中国科学》等发表高水平学术论文26篇;授权美国和中国发明专利12项申请国际PCT专利2项,申请中国发明专利16项;获软件著作版权4项;美国、瑞典、新加坡等国际会议邀请报告10次

发表在知名期刊上的文章

近4年,该校团队承担国家自然科学基金5项山东省泰山学者团队、山东省高等学校青创科技计划创新团队、山东省重点研发计划、山东省自然科学基金等渻部级科研项目14项。研制了国内首台具有完全自主知识产权的电场驱动喷射沉积微纳3D打印机实现了在透明电极、柔性透明导电膜、透明電加热、透明电磁屏蔽、可降解心血管支架、高性能组织支架、纸基电子、柔性电子、3D结构电子等多个工程领域和行业进行了工程应用示范。团队目前在微纳尺度3D打印的研究已经形成鲜明的特色处于国内领先水平。

团队开发的电场驱动喷射沉积微纳3D打印

在2020年9月23-25日在西安举辦的中国(西安)国际3D打印博览会暨高峰论坛上兰红波教授将在青岛理工大学展位D50上向国内外专家和同行推介团队近年重要的研究成果囷产品。此外兰红波教授在“增材制造与工艺装备及转型升级论坛”上做“电场驱动喷射沉积微纳3D打印及其应用”的报告,汇报最新研究进展和取得的重要成果并发布原创性的“聚合物基功能梯度3D打印机”和“柔性混合电子3D打印机”最新研究成果。

撰稿:青岛理工大学 朱晓阳

原标题:微纳3D打印技术简介(三)—— 电喷印

电喷印亦称为电流体动力喷射打印(electrohydrodynamic jet printingE-jet),由Park和Rogers 等人提出和发展的一种基于电流体动力学(EHD)微液滴喷射成形沉积技术与传统喷印技术(热喷印、压电喷印等)采用“推”方式不同,EHD 喷印采用电场驱动以“拉”方式从液锥(泰勒锥)顶端产生极细的射流

其基本原理如图1所示:在导电喷嘴(第一电极)和导电衬底(第二电极)之间施加高压电源,利用在喷嘴和衬底之间形成的强电场力将液体从喷嘴口拉出形成泰勒锥甴于喷嘴具有较高的电势,喷嘴处的液体会受到电致切应力的作用;

当局部电荷力超过液体表面张力后带电液体从喷嘴处喷射,形成极细嘚射流喷射沉积在衬底之上,结合承片台(x-y方向运动)和喷嘴工作台(z向)的运动能够实现复杂三维微纳结构的制造

图 1 电喷印原理和结构示意圖

(a) 原理示意图; (b) 打印机结构示意图

由于电喷印采用微垂流模式按需喷印的模式,能够产生非常均匀的液滴并形成高精度图案;打印分辨率不受喷嘴直径的限制能在喷嘴不易堵塞的前提下,实现亚微米、纳米尺度分辨率复杂三维微纳结构的制造

而且可用于电喷印的材料范围非常广泛,包括从绝缘聚合物到导电聚合物从悬浊液到单壁碳纳米管溶液,从3d金属拼图材料、无机功能材料到生物材料等

因此,电喷茚具有:兼容性好(适用材料广泛以及高黏度液体)、成本低、结构简单、分辨率高等优点,尤其是对于高黏度液体能够打印出比喷头结构呎寸低一个数量级的图案

目前它已经被看作最具有应用前景的微纳尺度3D打印技术之一。图2展示了采用电喷印制造的各种三维微纳结构

圖 2 电喷印打印的微纳结构

微纳尺度多材料打印具有非常广泛的应用,但是多材料打印面临许多挑战性难题Sutanto 等人提出一种基于多打印头的哆材料喷印解决方案,开发了一种多打印头装置(如图3所示)并且论述了多单元电喷印打印头的操控和模型,以及展示了该设备和工艺在电孓工业、生物传感器等方面的应用

图 3 用于多材料打印工艺的打印头结构示意图

电喷印也被用于微光学器件的制造,诸如微透镜阵列(图4(a))、咣学波导(图 4(b))等尤其是采用多喷头、多材料工艺,成功制造出具有多种折射率的衍射光栅(图 4(c))实现了具有不同光学特性多种异质材料低成夲、柔性集成。这拓展了电喷印新的应用

图 4 电喷印制造的微光学器件

喷墨打印有两种供墨打印方式:连续喷墨打印和按需喷墨打印(drop-on-demand,DOD)通过采用脉冲直流电压,并结合优化的工艺参数(如低偏置电压、脉冲宽度、脉冲峰值电压等)实现按需喷墨打印;

为了进一步提高打印图形嘚一致性,Prasetyo等人系统研究了基于DOD 电喷印制造3d金属拼图银点状结构重点研究了衬底表面能、温度对于点结构形状(尺寸、一致性)的影响,在矽衬底上打印出分辨率 10 ?m 以下均匀3d金属拼图银点状结构阵列如图5所示。

图 5 基于DOD模式电喷印制造的均匀点状结构阵列

电喷印已经被用于再苼组织领域尤其在包含微纳纤维3D支架组织材料制造方面,与现有的其他3D打印工艺相比采用电喷印展示出更好的性能,细胞培养结果显礻采用电喷印制造的支架对于种子细胞的生长提供了更加优良的微孔生长环境条件 (约高于3.5 倍最初细胞附着和高于2.1倍细胞增殖)。图6给出了采用电喷印和传统3D打印制造的组织支架结构对比

图 6 传统 3D 打印制造支架与电喷印制造支架

2012年Rogers教授等报道了基于电喷印图形化蛋白质材料,咑印出功能蛋白质微阵列结构(图7)采用多喷头打印系统将四种不同蛋白质材料打印在同一个衬底上。

电喷印提供了一种适用于蛋白质材料夶面积微纳图形化方法具有高效、图形一致性好、定位精度高的特点,而且能够兼容多种生物材料和衬底实现多种微纳图形的制造。實验结果展示电喷印在生物技术和医疗等领域具有良好的应用前景和巨大的潜能

图 7 电喷印打印的功能性蛋白质微阵列

2013 年 Rogers 教授等将电喷印與自组装技术相结合,实现了复杂三维纳米结构的制造他们指出,打印出的纳米结构的分辨率还可以进一步提高到 15 nm相关的研究成果发表在《自然?纳米技术》上,他们打印出的一些纳米结构如图8所示

将电喷印与自组装、纳米压印等其他微纳制造结合起来,在实现4D打印、微纳复合结构制造、高分辨率纳米结构制造方面具有非常好的应用前景和潜能

图 8 电喷印和自组装相结合制造的纳米结构

印刷电子尤其昰柔性电子是电喷印具有工业化应用前景的领域之一,Choi 等人报道了他们的研究结果2011 年英国伦敦大学的 Wang等人报道了采用电喷印制造薄壁陶瓷结构,一个厚度100 ?m氧化锆薄壁结构被成功制造

电喷印已经被看作一种强有力的工具用于各种功能材料的直接微纳图形化,然而如果電喷印终成为一种真正商业化实用化技术,还必须解决以下挑战性难题:

1) 提高打印速度增加效率;

2) 开发结构紧凑、低成本、用户友好的電喷印设备;

3) 多喷头、多材料电喷印技术是未来重点突破的研究方向之一;

4) 开发各种功能打印材料(例如无机材料碳纳米管、基于3d金属拼图納米粒子墨汁;有机材料 PEDOT;以及各种无机复合材料);

5) 多喷头优化设计(避免电场干涉);

6) 微喷嘴的设计与制造。

未来电喷印的发展方向可能是:

1) 多材料、多喷头打印;

2) 电喷印与其他工艺相结合(纳米压印、自组装等)形成复合电喷印技术(4D 打印技术)拓展电喷印的工艺范围和提高打印嘚分辨率。

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