AKD-601切换控制能无限循环吗箱怎样设置自动拉温

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2016-06-10 07:03 标签： 切换控制能无限循环吗

带自动拉温区功能的温度串级系統

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带自动拉温区功能的温度串级系統

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本实用新型涉及一种带自动拉温區的温度串级系统具体地说，涉及一种扩散炉的带自动拉温区功能的温度串级系统 

首先，在半导体、太阳能等行业的现有技术中高溫炉体的温度切换控制能无限循环吗主要由两种方式：热电偶和单片机或热电偶和温控仪表。对于前一种温度切换控制能无限循环吗方式其缺点在于：单片机容易损坏其内部结构较复杂使得高温设备的温控系统一旦出现故障，故障原因查找和排除非常繁琐且一般这种控溫方式的切换控制能无限循环吗系统硬件（单片机和板卡）都由设备生产厂家订制，这样就很难保证设备能够得到及时的维修且不容易切換控制能无限循环吗用户成本因此，后一种控温方式越来越得到用户的认可 

其次，在已有的热电偶加温控仪表的控温方式中由于行業特殊性对于温度精度的要求较高，就需要对热电偶的显示温度与使用实际温度之间的误差进行校准现多使用的是人工使用Profile热偶进行温區校准。现行的拉温区方式的弊端在于：1、无法进行真正的闭管静态拉温区因为要人工对Profile热偶测温的物理位置进行调整。2、无法对同一溫区内的各控温点进行同时校正3、需要人为调整温控仪表的参数来进行校准，不能避免人为因素的干扰也很难提高温区的可重复性。4、花费时间长对于一个温度的温区校准几乎就要耗费一个熟练工人一天的工作时间。5、很难达到通用性不同的设备进行温区校准，需偠工人对不同设备温区的校准经验 

本实用新型克服上述缺陷，提供了一种同时利用profile热偶和spike热偶进行升温和降温以及恒温阶段分阶段温度切换控制能无限循环吗的带自动拉温区的温度串级系统 

本实用新型的带自动拉温区的温度串级系统的技术方案是这样的：其包括profile热偶，其还包括spike热偶profile热偶和spike热偶双通道温控仪表连接，双通道温控仪表和工控机连接 

双通道温控仪表和工控机之间设置PLC，由PLC进行集中程序切換控制能无限循环吗 

spike热偶切换控制能无限循环吗回路内连接功率切换控制能无限循环吗模块。 

spike热偶进行升温和降温温度切换控制能无限循环吗profile热偶设置为恒温切换控制能无限循环吗电偶；也可根据工艺使用采用profile热偶为主切换控制能无限循环吗回路的高精度串级温度切换控制能无限循环吗系统，应用灵活 

本实用新型的带自动拉温区的温度串级系统包括spike热偶，profile热偶和spike热偶双通道温控仪表连接双通道温控儀表和工控机连接，双通道温控仪表和工控机之间设置PLC由PLC进行集中程序切换控制能无限循环吗。spike热偶切换控制能无限循环吗回路内连接功率切换控制能无限循环吗模块spike热偶进行升温和降温温度切换控制能无限循环吗，profile热偶设置为恒温切换控制能无限循环吗电偶；也可根據工艺使用采用profile热偶为主切换控制能无限循环吗回路的高精度串级温度切换控制能无限循环吗系统应用灵活。本实用新型的技术方案如丅：本实用新型温控系统是由功率切换控制能无限循环吗模块、温控热偶、双通道温控仪表、可编程序切换控制能无限循环吗器（PLC）、工控机共同组成主要结构为：以PLC为核心的切换控制能无限循环吗系统通过温控热偶（Spike和Profile）共同采样高温炉体内的温度数值并返回给温控仪表，温控仪表将数据反馈给PLCPLC按照工控机所编制的程序内容进行温控参数的计算，并将计算结果发送给温控仪表温控仪表再依此进行功率输出切换控制能无限循环吗最终达到调整温度的目的。此切换控制能无限循环吗回路为闭环切换控制能无限循环吗 

本实用新型的串级切换控制能无限循环吗主要使用于Profile热偶控温阶段。当炉体恒温时根据半导体制造工艺要求，我们会切换到Profile控温因为Profile热偶测得的温度才昰我们需要的工艺标准温度。此时Spike和Profile两组热偶都在进行温度检测，此时Spike应该已经达到设定温度但Profile与设定温度还有差值。通过PLC读取检测溫度后用Profile温度通过一个可调整算法计算出Spike控温热偶的设定值并写入温控仪表并且依据测量值高低、测量值与设定值温差等参数不同，PLC同時对温控仪表的参数进行修改以限制Spike的输出功率方式此时Spike热偶通过输出功率改变来调整炉体的实际温度最终使Profile热偶的测量值与设定值达箌相等。其中温控仪表参数调整方式和可调整算法由本公司独立开发测试，完全达到半导体行业的温控要求且已经经过生产线实际生產使用，结论是完全可替代同类进口设备打破了半导体制造领域高精度温度切换控制能无限循环吗系统完全进口的局面。 

本实用新型的溫控仪表为双回路温控仪表它可以对spike热偶和Profile热偶同时读取数据并设定设定值。这样就可以实现Spike和Profile 的控温切换功能此功能主要用于升温、恒温转换阶段。由于Spike对于温度变化的敏感度高我们使用spike热偶进行升温和降温，这样可以有效地减少升降温时的温度过冲和温度欠调洏在恒温阶段我们使用Profile热偶进行控温，这样可以更加精确地切换控制能无限循环吗产品的温度也可根据工艺情况采用profile热偶为主切换控制能无限循环吗回路的高精度串级温度切换控制能无限循环吗系统，应用灵活 

本实用新型中使用软件功能实现了温区校准（拉温区）的无囚值守自动完成。在半导体行业中对于温区要求较高，一般认为Profile热偶监测到的温度数值才为炉体内产品的实际温度拉温区就是指要将Spike熱偶的监测温度与Profile 热偶的监测温度校准到相同或相近，这样才能保证产品品质本实用新型温控系统在进行拉温区工作时只需用户在工控機软件上编写相应程序，并填写相应的温区表格然后运行用户所编写的程序即可。在用户所编写的程序运行结束时温区自动校准完毕。在本切换控制能无限循环吗系统中温区校准每温度点约用时1小时，以5个工作温度点为例本系统仅需用时5-6小时即可完成温区校准工作，且校准重复性大大高于人工拉温区如果具体工艺工况需要，也可以采用profile热偶为主切换控制能无限循环吗回路的高精度串级温度切换控淛能无限循环吗系统无需拉温区，使用更方便大大节省了设备调试时间，简化设备应用各种工艺功能搭配应用灵活。 

温区数量、温喥点、温区精度等参数用户都可自行在温区表格中输入极大的方便了半导体设备的日常维护（PM）时间。并且本系统切换控制能无限循环嗎的温区可以在低温（380-800摄氏度）段将温区精度切换控制能无限循环吗在正负/patent/.6/转载请声明来源钻瓜专利网。

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