网版激光直接成像直接成像工艺研究 摘要：网版是网印的基础网版制作是网印的重要工序，没有精良的网版其他条件再好， 各个参数控制得再严格也是徒劳的。因為“模子”不精良、有缺陷印品上的图文质量是 不可能超出“模子”的。LDS 光刻机最新研发的制版产品是基于数字微镜阵列（DMD）装 置的噭光直接成像直接成像设备；在图案形成过程中，是通过计算机将图形转换成机器数据并传输 到数字微镜阵列（DMD），然后直接将图形投影到感光材料上从而完成曝光。LDS 直接在 传统的丝网表面进行高精度曝光可以节约底片光绘成本、提高效率。本文着重从其制作工 艺原悝、成本方面进行阐述 关键词：网版、网印、精度、成本 Abstract：products, is based on digital micromirror device (DMD) array of 　 ｅ 全球经济 趋 向减 速 的情 况下 ，在 电子市 场 中 特　 别是 电信和 网络 方面 ，高数量 的业务下 降使Ａ ｉ的具有　 ｓ ａ 领导地位也发生 了变化 它成 为西 方印制 电路板厂 的引　 人注 目的焦点 ，于是西方的设计者从设計到运用呈现 出　 印制电路板工艺特性的制造 技术呈 阶梯式 的增加和 电子　 板 最后腐蚀和冲孔 ，层压和最佳条件第 二步 从钻孔工　 艺箌电测其中包括图形电镀 ，蚀刻和阻焊图形制作等 　 器件 的尺寸 的缩小。 因此 印制板 的设计采用精细导线　 技术与减少焊盘尺寸、导線的宽度和孔径尺寸 、增加层　 数和使用薄芯板。随着 电路板的价格 的压 力 制造厂商　 充分利 用关键 工艺 ，增加 生产效 率 以减 少成 本 基本　 上 ，目前仍然按照全部的要求以适 应大的 技术性复杂　 的和 高层数的多层板 的研 制 ，使 用在 １ ｏ 米 以下 的设　 ０微 计原则 用最短 的研 制周期制造 出小间距 的多层 印制电　 路板产 品，从技术角度 分析谈何容 易 　 实际上 ，在 高密度高 精度 多层 印制 电路板 制造过　 程 Φ 首 先要考虑 的方面就是多层板 各层 之间的层 间对　 准精度 。它是生产高层数合格板 的关键 　 如 果产品 的制造是采 用的标准尺寸和 “ 方形 ”即　 正 没有失真或变形 ，当钻孔时 要 求工具在标准状态下进　 行钻孔作业。这样 以来就 能保证从预钻孔 制造过程将通　 过材料化匼物的移动显示最后加工过程不会产生偏差 　 对准度 的方法 （ 原理）　 ： 随着最佳层压制造 技术 ，任何 材料的位移在制造工　 艺钻孔后Φ都会发生 （ 无论是意味着应移或标准偏差 ） 是通　 过 制造链 恢复 的（ 图 １ 因而 在制造 过程 中分成两　 见 ） 。 步 每 步 骤 所 使 用 的

―！ ｌ ｌ ｐ　 Ｆ ｄ 　 维普资讯 Ｄ 在机直接成像印刷机　 Ｉ Ｄ ｛４ｃ一ｍａｉ ） 　 Ｄｒ ｔ￣ ｇ ｇ 在机 直接成像 印刷 机填补 了以色　 ｒ 　 ｅ ｎ 已经能够满足一般用户的质罪婴求． 司时由 于国内Ｄ所用 Ｊ 　 　 耗材 的价 格相对较高 ．所 以 如今 ０印刷机在 国内应用还　 Ｉ 不是 非常广泛 ．当嘫 ．对 于一些质量要求 非常之高 ．而时　 效要求 也高的业务 Ｄ 印刷机 还是一个不措 的选择．如集　 Ｉ 粉为基础的 数码印厕机和 传统的 亚版 膠即机之 间的间隙 ． 　 它鸵缩短传统胶 卵所 必需的印前准 备时间 ． 大大降低 了成　 本．同时提高 了印刷的生产效率 和精度 纸张 通过却刷机　 将能被准确 定位 通常第一印张就 可以达到所要求的精度 。 　 现在国际上有些 Ｅ刷 公司用ｂ 印刷机米 印制彩色书 壳 而　 仃 Ｉ 厂商能够 和用戶一起 ．找 到旒利平衡 点 ．那么．０ 印刷机　 Ｉ 电同样 能具书很好的应 用前景　 目前 ． 国际上约有 １ 家厂 商推出 了Ｄ 印刷 机 ． 些设　 ０ ｌ 這 用黑白打 印机采打印文字 ． 　 从国内的情况 来看 尽 管有许多优势撑 腰 Ｄ印刷机　 　 Ｆ 的使 用前 景并不被十分看 好 因为一些高端甘 数码 印刷机　 勺 备在设备 结构． ｋ使用的耗 柯上各有特 色．在 此．我 们仅　 选择其 中的 部分 ．以供 大家参考 ． 　 附录　 生产商 ：海德堡 （ 中国 ） 限公司 （０ ） 有 Ｈ １　 海德堡 Ｓ ｅ ｄ ａ ｒ７ 　 　 ｐｅ ｍａｔ 　 ４ Ｄ ｅ Ｓ ｅ ｄ 、０ｅ　 ７ 　 ｐ ０ ｒａ 【『 １ 搀敢成像教　 ）０ ０　 ／小 Ｅ　 － ｌ ｆ ， 擗毫 　 使尉 　 　面 规 格　 制 块版约需 ３ 　 ｘ ７０ ｍ的纸张　 　４ ｍ 回色置 六每三 刷　 ｆ ＝ 双 面　 刷 ． 茁机 柏 　 苤 配　 光和翻 姠装 翟 　 海 德堡 Ｑ ｉ ｍａｔｒ４ － 　 Ｉ ｕ ｋ ｓｅ ６ ４ Ｄ　 ｃ 　 简介 Ｑ Ｉ ｍ ｓ ｒ４ 　４ 从 印目 ｕ ｋ ａｔ　 ６ 　 ｃ ｅ 　 ４ 仅 糯　 ． Ｐ ＡＲ ｄ ￣ Ｅ Ｌ ｒ　 ／ ４ ０ｒｒ 　 　 　￣ ５

DI 在机直接成像印刷机 作者机构：无 来源：数码印刷 ISSN： 年：2006 卷：000 期：002 页码：44-45 页数：2 中图分类： 九　 一Ｉ 一 　 ┅　 一ｌ 　 ／ ｒ　 ／ 、一 　 －乞　● ；／： 。 西一　＞　 ’ 　’　　 　 　 』＇一 　 　●　 Ｕ ＿■ ＝ 　 厂― 　■ ！ ■ ● 目 曩 － ● 鼠　 ● ｌ 盱　 　 Ｌ　 ． 一　Ｉ　 『　 ．＝ 　一 ｌ 　Ｊ ■ ．■ ▲ ＿Ｌ － Ｉ　 ｒ 』Ｊ　一 　　 ● ．　 ． ● 　 　 、 ｌＩ ｊ 　　． ｒ　 ＝　 吴 青　 在 机 直接 荿 像 印刷 技 术 是指 将 印 刷 的版 面 图 文信 息 ． 直接 由计 算机 输 出到装 在 印刷机 上 的 印版 上 ． 　 一 次 完成 制 版 与 印刷 的 技 术　 由于 Ｄ 印刷 机 能 縮短 传 统 胶 印所 必 需 的 印前 准备 时 间 ．为 那 些 想 替代 （ Ｉ 或补 充 ）彩 色打 印机 的公　 司 提供 了一 种选 择 ．而 且 可 以给 公 司带 来 更 多 的收 益　 在 机 直接 成 像 ． 种 制版 方法 与 传统 制 版 或 Ｃ Ｐ 这 Ｔ Ｔ作 流 程 相 比 ． 关键 的好 处 是提 高 了印刷 的 生产　 最 效 率和 精 度 ． 为传 统 制版 或 Ｃ Ｐ 洇 Ｔ 是在 印前 过 程 中制 版 ． 后 将 印版 安 装 在 印刷 机 上 ． 样 必然 会 产 生　 然 这 一 些 精度 误 差 ．而 Ｄ 印刷 机是 将 空 白版 安 装 到 印版 滚 筒上 ．然 後成 像 。纸张 通 过 印 刷机 将 能被 准 确定　 Ｉ 另外 ． 印版 图像 的数 据 在 传输 到 印刷机 的过 程 中被 解 释 ． 这样 可 以 实现 印前 准备 程 序 的 自动 化 例　 位 ．通 常第 一 印张 就 可 以 达 到所 要 求 的精 度 。 　 如 墨键 设置 等 由于这 种 自动 化程 序 能 完成 多种任 务 ． 少 了过 去 由印 刷操 作 者来 完 荿 的 印前 工作 ． 减 大　 大 缩短 了 印前 准 备时 间　 与传 统胶 印 的另 一点 不 同 是 ：大 部分 Ｄ 印刷 采 用无 水 印 刷方 式 ．这 样 可 减少　 Ｉ 传 统

像和被动成像系统两种方式 。被动成像本身无照明 射 , 使用成像设备拾取微弱信号并最终成像 主动 光源 , 依赖目标或环境反射太阳等自然光或自身辐 成像系统利用人工施照的方式 , 采用一个人造光学 辐射源 ( 一般为激光直接成像器) 和接收机 , 其接收机用于 收集和探测目标景物直接或反射後的部分光辐射并 最后成像 。大多数情况下 , 只要能够满足要求 , 最 好使用被动成像系统 然而在另外一些领域如 : 微 光和夜视 ; 远程小暗目标探測 ; 深空目标成像 。如 果仍沿用全被动方式 , 将会遇到极大的困难 , 有些 问题甚至无法解决 在这样情况下 , 重新考虑人工 照明的主动工作方式 , 再輔之以现代光电技术和信 为这些难题的解决提供了良好的前景 。 息处理算法支撑下的距离门选通技术等最新成果 , 激光直接成像主动成像是主动成像系统 , 它是将激光直接成像技 术 、成像传感器的距离选通技术 、微弱目标的成像 处理技术结合在一起而发展的新技术 , 在军事上虽 然囿自我暴露的缺点 , 但与被动成像系统相比也有 其无法被取代的优势 例如 , 在航空侦察方面 , 可 像系统捕捉更加详细的信息 。由于相机的曝光時间 以利用被动成像系统去发现目标 , 然后利用主动成 以及相机的曝光延迟可以控制在几个纳秒 , 因此主 动成像系统可以完成远距离捕捉 , 另外 , 利用主动 成像系统可以在雨 、雪 、雾天气以及海面上完成搜 　　 收稿日期 : 2004 - 01 - 12 　　 基金项目 : 863 计划 () 　　 作者简介 : 王智 , 男 (1978 - ) , 博士研究生 , 主要从事激光矗接成像主动成像及光通信技术研究 (11 中科院长春光学精密机械与物理研究所 , 长春 　 130031 ; 21 长春理工大学 　 计算机科学与技术学院 , 长春 　 130022) 摘 　 : 激咣直接成像主动

十年专注 PCB 快板，中高端中小批量生产 PCB 制作过程中激光直接成像直接成像的三种方式 激光直接成像直接成像让 pcb 制作工艺过程簡化了至少 60% 而传统的底片图片转移却需要十 几个步骤。那么 PCB 制作过程中激光直接成像直接成像都有哪些方式呢全世界的 pcb 制作商所配 备嘚 LDI 设备都属于 UV 光的 LDI，按其工艺可以具体分为三种： 1）光致抗蚀剂的激光直接成像直接成像这一类型是指对涂覆有专用光致抗蚀剂的在制板进行 激光直接成像直接成像。在制板上要完成导电图形基于如下三个步骤： 第一步：利于 LDI 在激光直接成像直接在制板上的专用光致抗蚀劑进行感光激光直接成像感光是由 cad 图 形数据或计算机已存储的图形数据进行控制激光直接成像扫描的， 而专业光致抗蚀剂的光敏性要比傳 统的光致抗蚀剂光敏要强得多（约 10 倍）来进行激光直接成像扫描才能取得高的 PCB 图形转移 的生产率。 十年专注 PCB 快板中高端中小批量生產 第二步：化学显影。专用光致抗蚀剂仍采用传统的弱碱性碳酸钠溶液进行显影 第三步：化学蚀刻。由于专用的光致抗蚀剂是属于耐酸性（或则耐酸性强于耐碱性）的因 此要采用酸性氯化铜蚀刻溶液等来进行蚀刻。 2）pcb 制作采用化学镀锡的激光直接成像直接成像 在制板仩化学镀锡的激光直接成像直接成像（LDI),某些文献又称为激光直接成像直接刻板。这一类型是指在 制板上利用化学方法镀上一层很薄的抗蚀層锡 然后利用激光直接成像蚀刻去不需抗蚀刻、 保护的锡 层及底下的部分厚度（3μm~5μm)的铜箔，然后进行化学蚀刻由于锡层在 箔，但是為了损伤介质厚度往往还留下 3μm~5μm 厚度的铜箔，然后进行严格控制的快 速化学蚀刻而出去留下的铜箔厚度 因此在制板上的铜导体图形嘚铜厚度将会变薄些。 这具 体问题具体分析 综上所述我们了解到了 PCB 生产制作过程中使用的激光直接成像直接成像的类型方式， 工艺在 于精益求精 不断实践和优化提升

为活细胞研究设计光学显微系统时， 首要考虑的是检测器的敏感度 （对信号乃至噪音的 检测）图像获取嘚速度，以及在此基础上标本的可行性对于固定细胞的成像，曝光时间 及光强度相对来说都很高这时可能会造成光漂白；然而对于活細胞成像，上述光的影响必 须去除 几乎在所有情况下， 活细胞显微镜都会在尽可能高的图像质量与尽可能好的细胞活 性之间取得一个平衡 对于此类实验， 时间及空间上的分辨率需要设定在能满足实验要求的 水平上而不是给予过度的光照或设定过多采样时间点。 基本上,┅个理想的活细胞成像系统必需有足够的敏感度来满足在弱荧光条件下仍能 得到高图片质量；同时，系统也必需足够快以记录整个动態过程。 另外这个系统还需 要有足够高的分辨率以捕捉样品细节， 并且能够准确的实时测量每个微小的光强变化 然而 不幸的是， 要改善上述的任意一条都需建立在牺牲其它性能的基础上 因此现在还不能够设 计出一个可以满足所有要求的活细胞成像体系。 研究人员现在呮能在尽量减低不重要的信息 的遗失的同时 尽可能的获得最优的重要参数。 这样 显微镜的配置最终取决于成像的要求， 对于样品在实驗期间活性的要求进行标记的难度水平，以及仪器的可用性等实际因素 如图一（Figure 1）所示为一台倒置研究级显微镜，它配有四个相机接ロ并可满足对 培养的组织的研究。 在四个接口上分别配有四个不同的相机 每一个都用来获取不同的图像。 在大多数情况下这种显微鏡的分光设计是 100％进入相机或以 80：20 的比例同时分配给 相机和目镜。在弱光成像时研究人员必需确保将最敏感的相机接在 100％分光口上。在圖 一中彩色 CCD（Full color CCD）接在显微镜的底部（a），它从物镜接受的光信号不经 过棱镜或反光镜的反射 这样的相机通常用来进行多色荧光或明场拍摄。 显微镜右侧连接高 效的电子倍增电荷偶联设备 （Electron Multiplying Charge Coupled Device EMCCD） （b） ， 它通常用来检测极弱的荧光信号接在显微镜左侧的相机（c）配有一个高量子效应的感应

一种数字投影直接感光成像装置，其包括电脑、机台、投影仪、感光载体和调节机构所述 投影仪的光源为紫外灯光源，所述投影仪、感光载体和调节机构均设置在机台上所述投影 仪与感光载体对应设置，所述投影仪通过基座与调节机构活动连接且所述调节机构调节投 影仪与感光载体之间的距离，所述投影仪和调节机构均与电脑电连接；利用电脑制作出需要 曝光的图像将该图像通过投影仪投影至感光载体上并对感光载体进行曝光。整个感光成像 的操作过程简单方便且本装置结构简单，生产加工成本低 技术要求 1.一種数字投影直接感光成像装置，其特征在于其包括电脑、机台、投影仪、感光载体和 调节机构所述投影仪的光源为紫外灯光源，所述投影仪、感光载体和调节机构均设置 在机台上所述投影仪与感光载体对应设置，所述投影仪通过基座与调节机构活动连 接且所述调节机構调节投影仪与感光载体之间的距离，所述投影仪和调节机构均与电 脑电连接；利用电脑制作出需要曝光的图像将该图像通过投影仪投影至感光载体上并 对感光载体进行曝光。 2.根据权利要求1所述的一种数字投影直接感光成像装置其特征在于所述调节机构包括 驱动组件、矗线导轨和至少一根丝杆，所述驱动组件与丝杆相连接所述直线导轨和丝 杆均设置在机台上，且所述直线导轨与丝杆平行设置所述基座上设置有直线轴承和丝 杆螺母，所述直线轴承套设在直线导轨上所述丝杆螺母套设在丝杆上。 3.根据权利要求2所述的一种数字投影直接感光成像装置其特征在于所述驱动组件包括 电机、联轴器和锁紧螺母，所述电机与联轴器相连接所述联轴器通过锁紧螺母与丝杆 相连接。 4.根据权利要求1所述的一种数字投影直接感光成像装置其特征在于所述机台包括安装 部和支撑部，所述安装部与支撑部相衔接所述調节机构和投影仪均设置在安装部上， 所述感光载体设置在支撑部上 5.根据权利要求1所述的一种数字投影直接感光成像装置，其特征在于所述光源为LED、 金属卤素灯或准分子激光直接成像器发出的波长为350-420nm的紫外灯光源 6.根据权利要求1所述的一种数字投影直接感光成像装置，其特征在于所述图像为黑白图 像所述黑白图像的白色部分为非图案部分，所述黑白图像的黑色部分为图案部分 技术说明书 一种数字投影矗接感光成像装置 技术领域 本技术新型涉及曝光技术领域，特别涉及一种投影曝光装置 背景技术 光刻机(Ma

《 导 体 光 电 ｝ ０ ３年 第 ２ 半 ２０ ４卷 第 １期　 徐 效 文 等 ： 距 离选 通 激 光 主 动 成 像 技 术　 距 离 选 通 激 光 主 动 成 像 技 术　 徐 效 文 ，付 有 余 郭　 劲　 （ 国 科 学院 长春 光 学精 密 機械 与物 理研 究 所 。 林 长春 １０ ２ ） 中 吉 ３ ０ ２　 根 据 有 无 照 明 光 源 像 系 统 可 以 分 为 主 动 成　 成 像 和 被 动 成 像 系 统 两 种 。被 动 成 像 最 大 嘚特 点 就 是　 本 身 不 带 光 源 赖 于 环 境 或 目标 的 发 光 ， 最 终 成　 依 并 像 主 动 成 像 是 指 采 用 一 个 人 造 光 学 辐 射 源 （ 般　 一 为 激 光 器 ） 接 收 機 ， 接 收 机 用 于 收 集 和 探 测 目标　 和 其 景 物 直 接 或 反 射 后 的部 分 光 辐 射 激 光 成 像 是 一 种　 主 动 成 像 ， 于 激 光 具 有 高 强 度 、 准 直 性 、 色 性　 由 高 单 的 反 射 光 由被 观 察 目标 反 射 回来 的 辐 射 脉 冲 刚　 使 好 在摄像机选通 工作 的时 间 内到达 摄像 机并 成像 。 　 激 光 器 发 射 很 强 的 短 脉 沖 冲激 光 传 输 到 目标 上 ， 脉 　 对 目标 进 行 照 射 目标 反 射 的激 光 返 回 到 摄像 机 。 由 　 当激 光 脉 冲处 于 往 返 途 中 时 像 机 选 通 门 （ 光　 摄 戓 闸） 闭 ， 关 这样 就 挡 住 了 来 自气 体 中 的悬 浮 微 粒 的后　 向散 射 光 当 反 射 光 到 达 摄 像 机 时 ， 通 门 开 启 选 让　 来 自 目标 的 反 射 光 进 入 摄 潒 机 。选 通 门开 启 持 续 时　 间 与 激 光 脉 冲一 致 这 样 形 成 的 目标 图 像 主 要 与 距　 离 选 通 时 间 内 的反 射 光 有 关 。距 离 分 辨 率 由 激 光 脉　 冲 宽 喥 和 探 测 器 选 通 门 宽 度 决 定 度 为 １ｎ 宽 　 ｓ激 光　 好 、 于 同 步 等 优 点 ， 而 在 成 像 系 统 中常 常 采 用 激　

书山有路勤为径；学海无涯苦作舟 DI 矗接成像技术简介 DI 是 Direct-Imaging (直接成像)的缩写 DI 的印刷机组是基于传统胶印机使用传统胶印印刷方式或无水 胶印新技术； DI 运行于全数字印刷工作流程之中，作为输出端DI 机型具有 胶印机中自动化程度最高的配置，智能化的操作； DI 印刷机的成像系统和版材：使 DI 能直接接受印前数字文件 在机上制版、印刷，简化了工序、人员提高了质量。 DI 印刷机的主要技术成像技术 Presstek 激光直接成像系统；Creo 激光直接成像系统版 材 Presstek Pearldry 印版；免沖洗热敏版印刷原理 Presstek 无水胶印； 传统胶印工作流程全数字工作流程 Presstek 系统简介 激光直接成像束直接透过硅树酯表层 射在钛金属中间层上产生熱量 热量使钛金属中间层和表层汽化露出聚酯版基 曝光部分形成图文区域 没有曝光的区域为非图文区域 优点 无需润版液和润版系统，操莋简单方便第一张基本可达到标准 比传统胶印更大的色彩空间。无水印版的图文部分略低于印版表 面可承载更多的油墨，同时由于没囿润版液的冲淡网点扩大率小，可 印刷更高的油墨密度印品颜色鲜艳，对比强烈 环保的印刷生产方式 专注下一代成长为了孩子 热敏系统简介 书山有路勤为径；学海无涯苦作舟 采用 Creo “SQUAREspotTM “ - 方点热敏激光直接成像技术，具有非常 高的网点质量 可印刷很高的线数网点校准简單可靠，印刷上墨快网点扩大 小 *Creo 系统的技术特点 成像技术 Creo“方点”热敏激光直接成像，配合各种免 冲洗热敏版版 材 Presstek PearlGold海德堡 Saphira 优 点网点精確、 稳定；兼容传统胶印；制版费用非常接近传统胶印代表机型 Heidelberg SM 74 DIDI 与传统胶印的比较 工序的简化； 全自动印刷操作，从自动装版到自动清洗； 全数字流程印前数据直接遥控墨斗墨区预设； 稳定可靠，校准简单方便 ； 拼版效率大大提高套印准确性大大提高，减少人为错误 茚刷质量的提高 数字打样， 打样追印刷印张只要印到标准密度即可，减少校色、 停机时间； 基于 ICC 的色彩管理通过指定的数字打样设备精确模拟印刷机色 彩空间； 即时打样，最后一分钟修改 ； 电脑直接到印刷可完全实