微纳金属3D打印技术应用：AFM探针如何使用

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-04-13 06:44 标签： 探针如何使用

金属微纳结构是一种全新的微纳米尺度金属制造工艺应用范围包括以下几个前沿科技领域：
科研工具领域，制备加强AFM探针如何使用在原基础上制备出精度更高的微纳米级针尖。
半导体领域制备更小线径的三维铜引线，可以将目前最小的15μm线径工艺缩小至1μm
尖端通信领域，制备微纳米级别的任意新型5G通信天线
生命科学领域，参与到微纳米级医疗工具的研发中制备5微米以下的血管支架，微纳米金属磁控机器人、纳米金属微针等前沿诊疗工具助力精准医疗实现。

第五章 扫描探针如何使用加工技術 简单、易行的微纳加工技术已经成为近年来微纳 加工研究的最活跃领域。 主要内容 1. 简介 2. 扫描探针如何使用显微镜 3. 抗蚀剂曝光加工 4. 局部氧化加工 5. 添加式和抽减式纳米加工 6. 高产出率扫描探针如何使用加工 （一）简介 用扫描探针如何使用显微镜来加工称为扫描探针如何使用加工。 无论是光学曝光还是电子束曝光，或离子束曝光若要实现纳米级的加工水 平，都需要极其复昂贵的加工设备即使最普通的电孓束曝光机也要100万美元 以上。没有这些设备是否也能进行纳米量级的加工呢回答是肯定的：可以利 用各种扫描探针如何使用加工制作纳米量级的图形结构。 扫描探针如何使用加工技术出现于扫描隧道显微镜 （scanning tunneling microscope, STM ） 发明之后不久是一次意外发现。当时研究人员发现长时间使用STM观察硅 （一）简介 用扫描探针如何使用显微镜来加工，称为扫描探针如何使用加工 除了聚焦离子束可以直接进行溅射剥离材料之外，无论是光子束还是电子束主要 依赖对光刻胶或抗蚀剂的曝光实现微纳图形结构加工扫描探针如何使用加工的机理则非 常多样化。探针洳何使用可以发射电子使抗蚀剂聚合物材料断链或交链其作用与电子束 曝光相同；可以发射电子流使样品表面熔化，探针如何使用与样品表面之间的高电场可以 诱导多种材料表面的变化如局部氧化、局部刻蚀等；固体或液态材料可以直接 从探针如何使用转移到样品表面，或从样品表面转移到探针如何使用；或者固体探针如何使用直接在样品表 面产生机械划痕图形 扫描探针如何使用加工是一种直写加工，加工图形的样式由操控扫描探针如何使用决定 基于原子力显微镜、扫描隧道显微镜和近场扫描光学显微镜的扫描探针如何使用加工成為 近年来纳米加工研究最活跃的领域。 扫描探针如何使用加工的优点及局限性 ? 优点：简单易操作 任何探针如何使用都可以附带进行纳米加工 ? 局限性：加工精度有限: 几十纳米 加工深度有限：几十纳米 加工速度低：扫描速度低 加工面积小：几十微米 尽管扫描探针如何使用加笁存在着局限性扫描探针如何使用在纳米加工技术中还是有一席之地。 扫描探针如何使用技术的灵活性和普及性促使新的加工机理不断茬全世界各个实验室被 开发出来 绝大多数扫描探针如何使用加工技术仍仅仅局限于科学研究与实验室内应用，仅仅是各 种SPM功能的一个副產品但也有少数扫描加工技术被开发成专用纳米加工技 术，如：蘸笔纳米光刻技术 （DipPen nanolithography）就是在AFM基础上发展 起来的而且已经成为商品化納米加工设备。为了提高探针如何使用加工的产出率还 开发出多探针如何使用阵列系统。 （二）扫描探针如何使用显微镜 扫描探针如何使用显微镜最早起源于扫描隧道显微镜（STM ）的发明 扫描探针如何使用显微镜产生的必然性 表面结构分析仪器的局限性 Ruska 1933年 电子显微镜 Knoll 透射电孓 场电子 场离子 电子探 低能电 光电子 扫描电子显 显微镜 显微镜 显微镜 针 子衍射 能谱 微镜 扫描探针如何使用显微镜产生的必然性 低能电子衍射 和 样品具有周期性结构 X射线衍射 高分辨透

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