GOS:阀开GCS:阀关 ESC:静电卡盘
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PSH01 是压力联锁仪表
PLC指示压力值的仪表
R006A是自己定义的 这个问设计者 设计图纸上应该有 一般来讲要么指这些
PAH01 指需要到DCS报警 压力高报警
PCV01 指的是阀门 PCV01这个阀门的开度大小来控制PT01这个壓力变送器的压力在某个值或者某个范围
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