铜互连双大马士革结构Cu刻蚀吗清洗工艺中铜腐蚀失效机理及解决方案研究
姬峰(1980-)男,无职称主要研究方向,集成电路制造E-mail:jifenghbc2@
王英,女副教授,主要研究方向纳米材料制备与纳米加工技术研究