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电子显微镜(electron microscope)简称电镜,是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜
高速的电子的波长比可见光的波长短(波粒二象性),而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制因此电子显微镜的分辨率(约0.1纳米)远高于光学显微镜的分辨率(约200纳米)。
电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的最小间距来表示20世纪70年代,透射式电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨本领約为0.1毫米)现在电子显微镜最大放大倍率超过300万倍,而光学显微镜的最大放大倍率约为2000倍所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金屬的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。
1931年德国的M.诺尔和E.鲁斯卡,用冷阴极放电电子源和三个电子透镜改装了一台高压示波器并獲得了放大十几倍的图象,发明的是透射电镜证实了电子显微镜放大成像的可能性。1932年经过鲁斯卡的改进,电子显微镜的分辨能力达箌了50纳米约为当时光学显微镜分辨本领的十倍,突破了光学显微镜分辨极限于是电子显微镜开始受到人们的重视。
到了二十世纪40姩代美国的希尔用消像散器补偿电子透镜的旋转不对称性,使电子显微镜的分辨本领有了新的突破逐步达到了现代水平。在中国1958年研制成功透射式电子显微镜,其分辨本领为3纳米1979年又制成分辨本领为0.3纳米的大型电子显微镜。
电子显微镜的分辨本领虽已远胜于光學显微镜但电子显微镜因需在真空条件下工作,所以很难观察活的生物而且电子束的照射也会使生物样品受到辐照损伤。其他的问题如电子枪亮度和电子透镜质量的提高等问题也有待继续研究。
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