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来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2017-09-30 02:04 标签： 蒸镀tfe设备
蒸镀前玻璃清洗机中标结果公告(1)-中国政府采购招标网
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蒸镀前玻璃清洗机中标结果公告(1)
(www.) 第【9423593】号 发布时间：日 23:15
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蒸镀前玻璃清洗机中标结果公告(1)
项目名称：蒸镀前玻璃清洗机项目编号：20182/37招标范围：蒸镀前玻璃清洗机
招标机构：中航技国际经贸发展有限公司招标人：武汉天马微电子有限公司开标时间： 09:30公示时间： 17:27 -
23:59中标结果公告时间： 00:14中标人：株式会社？DMS制造商：DMS CO.,LTD制造商国家或地区：韩国一种制备氮化镓基半导体激光器的P型电极的方法
本发明提供了一种制备氮化镓基半导体激光器P型电极的方法，属于半导体激光器器件制备技术领域。该方法包括：在完成整个氮化镓基半导体激光器结构刻蚀后，P型和N型电极蒸镀前，将氮化镓基半导体激光器放入酸溶液中进行表面预处理；优化PECVD条件生长钝化层包裹整个激光器；在钝化层表面甩涂光刻胶，光刻P型电极窗口，并随后坚膜；采用湿法腐蚀或干法刻蚀加湿法腐蚀去除窗口区暴露的钝化层，然后保留原有光刻胶，烘干后直接电子束蒸镀P型Ni/Au电极；进行剥离，完成整个P型电极工艺。本发明尽可能地消除工艺流程中的不利因素对器件性能造成的影响，有效的提高了工艺可靠性及器件性能。
专利类型：
申请（专利）号：
申请日期：
公开(公告)日：
公开(公告)号：
主分类号：
H01S5/00,H,H01,H01S,H01S5
H01S5/00,H,H01,H01S,H01S5
申请（专利权）人：
发明（设计）人：
睿,胡晓东,徐
涛,陈伟华,胡成余,包
魁,王彦杰,张国义
主申请人地址：
100871北京市海淀区颐和园路5号
专利代理机构：
北京君尚知识产权代理事务所
国别省市代码：
1、一种制备氮化镓基半导体激光器的P型电极的方法，其步骤包括:1)在完成整个GaN基半导体激光器结构刻蚀后，P型电极和N型电极蒸镀前，将GaN基半导体激光器放入酸溶液中预处理；2)由PECVD生长钝化层包裹整个GaN基半导体激光器；3)在钝化层表面甩涂光刻胶，光刻P型电极窗口，并随后坚膜；4)进行湿法过腐蚀，或先干法刻蚀去除大部分钝化层后，再进行湿法过腐蚀，完全去除窗口区暴露的钝化层；5)完成以上步骤后，保留原有光刻胶，烘干后直接电子束蒸镀P型Ni/Au电极；6)进行剥离，完成整个P型电极工艺。
法律状态：
公开 ，实质审查的生效 ，授权
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激光全息透明介质镀膜的生产技术及蒸镀设备的研制
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