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【摘要】:正Aviza Technology宣布推出全球第一囼12英寸晶圆级离子束沉积系统第一台系统已出货至法国格勒诺伯市的欧洲领先电子学及自

【分类号】:TN305


承焕生,汤家镛,徐志伟,杨福家,赵国慶,周筑颖;[J];物理;1980年03期
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