【摘要】:正Aviza Technology宣布推出全球第一囼12英寸晶圆级离子束沉积系统第一台系统已出货至法国格勒诺伯市的欧洲领先电子学及自
【分类号】:TN305
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承焕生,汤家镛,徐志伟,杨福家,赵国慶,周筑颖;[J];物理;1980年03期
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陶友松;[J];系统工程与电子技术;1980年06期
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王培大,韩阶平,裴荣祥,洪啸吟;[J];半导体学报;1980年03期
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王永瑜;[J];西北大学学报(自然科学版);1980年03期
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戎霭伦,張铨南,姜骥凤,王征祥;[J];北京航空航天大学学报;1981年04期
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